Messtechnische Service- und Beratungsfirma für die Nanowelt

Service und Beratungsfirma für optische Messtechnik zu Ihren Diensten


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letzte Aktualisierung: 2018-03-20 17:57:14
Einfache Handhabung der optischen IVS-Systeme für CD und Overlay Messungen      EUMETRYS ist der offizielle ŒM-Vertreter für den Vertrieb der IVS-Produktlinie von INSPECTROLOGY in Europa:

INSPECTROLOGY
IVS 120 / IVS 130 / IVS 135
IVS 155 / IVS 165 / IVS 185
 
 
 

EUMETRYS verkauft optische Messsysteme für die Halbleiterindustrie

       Wir vertreten die IVS-Produktlinie in Europa. Wir verkaufen die verschiedenen Modelle IVS120 / IVS130 / IVS135 / IVS155 / IVS165 / IVS185 als gebrauchte und generalüberholte Systeme.
Für irgendwelche speziellen Systemunterlagen senden Sie bitte eine Anfrage über unseren Kontakt

Dieses optische Messgerät ist auf die Messung der kritischen Linienbreiten (Critical Dimension or Line Width) und der lithographische Überdeckungsgenauigkeit (Strukturversatz) (Overlay Registration) spezialisiert.

IVS-System für lithographische Messungen im Bereich der Verbindungshalbleiter Flexibles Handling bei IVS-Systemen: von 75 mm bis 200 mm ohne Modifikation

Wir unterstützen auch die Modernisierung von IVS-Systemen und liefern Ersatzteile für die gesamte IVS-Produktlinie (alle Modelle).

Die IVS-Produktlinie hat eine lange Geschichte:

 
Der ursprüngliche IVS-Systemname und die Marke
IVS wurde 1980 gegründet, um die Halbleiterindustrie mit Messsystemen zu versorgen
 
SCHLUMBERGER previous owner of IVS systems SCHLUMBERGER war der frühere Eigentümer der IVS-Firma
1997 wurde IVS von Schlumberger gekauft und hat sich später als Soluris abgespalten
 
Soluris war der frühere Eigentümer von IVS-Geräten

2006 wurde Soluris von Nanometrics gekauft
 
NANOMETRICS war Partner und früherer Eigentümer von optischen IVS CD Systemen

Im September 2012 kaufte Inspectrology die IVS-Produktlinie von Nanometrics

Die Marke der IVS optischen CD und Overlay Messsysteme

Das optische IVS-Messsystem ist eine hochentwickelte automatische Plattform, die 75 – 200 mm Wafer ohne irgendwelche Hardwaremodifikationen handhaben kann und offeriert die folgenden Messfähigkeiten: 
 
 CD &Overlay Messungen mit der gleichen Messvorschrift
 Submikrometer CD Messungen
Neue Option für transparente SiC-substrate
 CD und VIA Messungen auf strukturierten MEMS
 CD und VIA Messungen auf strukturierten LEDs
 Vollständig nachgewiesene Overlay-Messfähigkeit bis herunter zu 110nm Halbleiterprozessen

Einsatzvariabilität der IVS-Messsysteme: VIAs, CD, Overlay, MEMs

Für transparente Substrate offerieren wir ein dezidiertes IVS-System, das ein spezielles Wafer Zentrier- und Ausrichtesystem (Aligner System) mit einer innovativen Abbildungstechnik nutzt. Dies erlaubt die Messung von Wafern und Substraten aus Glas, Quarz, GaN, GaAs, LiN und SiC.

 

Schnelle Hilfe
Wann immer es erforderlich ist, stehen wir Ihnen mit schnellem Service und mit schnellem Austausch von Teilen zu Verfügung. Dabei nutzen wir den jeweils effizientesten Weg, um Ihre Anforderungen nach bestmöglichster Reaktionszeit zu Ihrer alltäglichen Zufriedenheit zu erfüllen.
Rufen Sie uns an unter: +33 620 171 572



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