IVS 220 is now released

EUMETRYS und INSPECTROLOGY gaben die Freigabe des neuen IVS 220 bekannt. Das neue Werkzeug verfügt über einen Durchsatz von 165 Wafern pro Stunde und eine Genauigkeit von 1 nm.
Mit Blick auf die aktuellen, anspruchsvollen Anforderungen der Messtechnik entwickelt, wurde das System um einige Funktionen erweitert, um den hervorragenden Ruf der Messtechniksysteme der IVS-Reihe weiter auszubauen. „Wir konnten die Durchsatzrate erheblich verbessern und die Präzision erhöhen. Uns war es wichtig, den mittleren Ausfallabstand (MTBF) beizubehalten, für den die IVS-Systeme bekannt sind, und gleichzeitig neue Leistungen möglich zu machen.“ ergänzt Neal Casa, Vice President des Bereichs Engineering bei Inspectrology LLC.
Darüber hinaus ermöglicht IVS 220 die Reduzierung der Betriebskosten für die Messtechnik bei gleichzeitiger Erfüllung immer strengerer Prozessanforderungen.
