Zur Steuerung der Funktionen der photolithographischen Geräte wird vorzugsweise die tägliche Overlay-Steuerung (Daily Overlay) verwendet. Daher ist das automatische, optische IVS-Messsystem die geeignete technische Lösung für Prozessknoten von 110 nm bis weit über 10 μm.
Das Abgleichprotokoll des Stepper-Gerätes ist Bestandteil der täglichen Nachverfolgung am Produktionsstandort des Kunden, und das Overlay-Messgerät ist dabei das alleinige Messsystem, mit dem die Parameter des Stepper-Geräts gesteuert werden können.
Das Abgleichprotokoll des Stepper-Gerätes ist Bestandteil der täglichen Nachverfolgung am Produktionsstandort des Kunden, und das Overlay-Messgerät ist dabei das alleinige Messsystem, mit dem die Parameter des Stepper-Geräts gesteuert werden können.
